低频/中频
Photo of LFGS RF Generator
  |  Contact Advanced Energy |  Email this to a friend |  Print this page |  

LFGS 射频发生器

LFGS 发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器。此类可变频率发生器采用了一种半桥、D 类型放大器理念,拥有一种空冷式紧凑型的设计,可安装在19英寸机架上面。典型的应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及表面处理。

优点 功能
  • 可达到目前市场上可获得的最低反射功率
  • 空冷式设计
  • 多功能前面板
  • 脉冲模式:0到 10kHz
  • 更完善的操作功能表
  • 2个模拟用户端口
  • RS-232 接口、以太网接口及 PROFIBUS 接口


选择型号


请选择频率
Rate this page

此页的讯息很有效益 (1-强烈不同意, 5-强烈同意)
1   2   3   4   5  

我们如何此页的讯息?