Advanced Energy Copyright 2019 Advanced Energy® 电源系统
电源系统
Advanced Energy 是电源产品的全球领先供货商,这些产品用在半导体、平板显示器、数据储存产品、太阳能电池、建筑玻璃和其他先进产品应用等制程中。我们的产品提供:
  • 无与伦比的功率等离子控制
  • 无可比拟的 DC 和 RF 电弧处理能力
  • 尖端匹配技术
  • 领先、整合和经证实的功率传送解决方案
我们为下列流程设计了电源系统功能:
  • RF 清洁
  • 金属和电介质蚀刻
  • 感光耐蚀膜抛光
  • 化学汽相沉沈积 (CVD)
  • 等离子增强化学汽相沈积沉积 (PECVD)
  • 物理汽相沈积沉积 (PVD)
  • 溅射沈积沉积
此外,我们提供 DC 溅射(反应溅射和金属化溅射)、AC 双阴极溅射和 PECVD,以及用于离子束沈积沉积、反应离子束蚀刻 (RIBE) 和尖端等离子仪表应用的设备。

电源选择矩阵

Power supply selection matrix



请点评此页

此页的讯息很有效益 (1-强烈不同意, 5-强烈同意)
1   2   3   4   5  

我们如何此页的讯息?



Advanced Energy Copyright 2019