Pinnacle 3000

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直流

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Pinnacle^® 3000

Advanced Energy 的 Pinnacle^® 3000 直流电源提供最高的效率和功率因素，从而带来业界最低的运行和安装成本。 Pinnacle 工艺一致性和控制带来的额外好处是使在正常溅射工艺和偏压应用中的工艺变化明显减少、产量提高。

优势

特点

经过证明的 Pinnacle 性能和可靠性
最大的工艺效率——最低的运行和安装成本
通用性——在溅射工艺和偏压应用上均表现出色
快速、可配置的弧反应——弧损伤少
精确的工艺控制
多种显示/控制选择
符合安全/辐射标准

业界最高的效率和功率因素
紧凑——在一个 2-U、1/2支架封装中，功率达 3000W
单输出抽头，疲惫范围广泛
Profibus 和 RS-232 串行通信
靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间
仅400 VAC 输入
存储能量低——每千瓦输出不到6 mJ
在大于15%的功率下，输出重复性为±0.1%
Joule 模式——最优化的能量传送
对输出电平、击穿电压和工艺电压的可编程限制
储存设定自动保存
有 CE 标志

可下载文献

Pinnacle^®3000 - 3-kW DC power supply data sheet
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
A Novel Frequency-Domain Small-Signal Analysis of Resonant Power Converters, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
AE Global Services brochure

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