直流
Photo of Pinnacle Series DC power system
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Pinnacle® 系列

业界公认的 Pinnacle® 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能,从而大大减少了工艺变化,提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。

优势 特点
  • 最低的运行和安装成本
  • 业界最快的弧反应时间 
  • 可配置的弧反应参数 
  • 最大的工艺效率
  • 精确的工艺控制
  • 最低的存储能量——每千瓦输出不到 1mJ
  • 无需调节输出变压器
  • 4:1的阻抗范围
  • 靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间
  • ±0.1%的输出重复性
  • Joule 模式——最优化的能量传送


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