Advanced Energy Copyright 2019 Apex -射频电源与供电系统
RF
The Apex platform delivers superb performance in plasma-based thin film processes for semiconductor, flat panel display, or data storage manufacturing.
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Apex® 射频供电系统

通用 Apex® 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术,在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。

优势 特点
  • 更高的功率密度
  • 更好的工艺灵活性
  • 产量提高
  • 持有成本降低
  • 简化工艺工具整合
  • 灵活的通信
  • 简化的设计
  • 真空室安装、框架安装、支架安装和鞋盒式 (shoebox) 选择
  • 宽带控制回路和可选的高重复率脉冲
  • 业界领先的弧管理
  • 符合监管要求


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