Advanced Energy Copyright 2019 HFV® 变频 (~2 MHz) 电源
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Photo of HFV Variable Frequency Generator RF power system
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HFV® 变频 (~2 MHz) 电源

灵活的 HFV® 电源主要用作200和300 mm 晶圆制程、平板显示器和 DVD 设备的等离子发生器,为离子化物理气相沉积 (IPVD)、CVD 和蚀刻提供了工艺一致性。这种通用电源的特点有数字合成变频输出和微处理器控制,输出功率电平为3、5和8 kW。此外,其输出频率范围为1.765-2.165 MHz。固件上的频率调谐参数可进行定制,以确保在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行。


优势 特点
  • 提高了 run-to-run 准确性
  • 具有通用性
  • 提高了可靠性
  • 增强了工艺灵活性
  • 降低了持有成本
  • 可定制的频率调谐参数
  • 输出频率范围为1.765-2.165 MHz
  • 3、5和8 kW 的输出功率电平
  • 数字合成频率输出
  • 微处理器控制


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