Advanced Energy Copyright 2019 Navigator 数位字匹配系统网络
RF
Photo of Navigator digital matching network
  |  Contact Advanced Energy |  Email this to a friend |  Print this page |  View Demo

Navigator® 数字阻抗匹配网络

多功能 Navigator® 匹配网络的先进技术能在多种负载阻抗下(从15W 至 30kW)进行快速、准确而可靠的匹配。该匹配网络配备了微处理器控制步进马达电路和用户可选数字调谐算法,使它能提供较传统模拟调谐法更高的一致性和精确性。这也使得它可以优化半导体、太阳能、FPD 以及 MEMs工艺流程(包括蚀刻、CVD、HDP-CVD、PVD 和腔体清洗应用)的输送过程功率。一个可选的内部 Z'Scan® 射频传感器可提供对过程功率和阻抗的实时测量和分析,从而使您能够发现并显著降低制程变化性。此外,可选的虚拟前面板 (VFP) 软件使您能够通过一台个人计算机来监视并控制匹配网络。


优势 特点
  • 加强了工艺控制
  • 最大限度地减小反射功率
  • 加速反应时间
  • 有助于提高工具吞吐量和产量

  • 数码匹配平台
  • 多种数码调谐算法
  • 实时过程功率和阻抗测量与分析
  • 整合式仪器
  • 简化的设计
  • 严格的测试


可下载文献

更多信息

需要该产品的更多信息,请联系区域销售代表
寻找您所在区域的销售代表或授权分销商
登录并同意加入邮件列表,得到Advanced Energy 相关的新闻和最新动态

 

请点评此页

此页的讯息很有效益 (1-强烈不同意, 5-强烈同意)
1   2   3   4   5  

我们如何此页的讯息?



Advanced Energy Copyright 2019