Advanced Energy Copyright 2019 Paramount 射频功率输送系统
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Paramount® 射频功率输送系统

这款半机架的3kW 的 Paramount® 射频 (RF) 功率输送系统拥有更强的功率和阻抗测量性能,能够在 13.56MHz 固定或可变频率、50欧姆和非50欧姆负载下(电压驻波比 (VSWR) 超过3:1),为您带来出色的输送功率精度和控制性能。能够与最突然变化的等离子阻抗保持实时同步,Paramount 射频功率输送系统能为新一代技术节点带来更快的转换速度、更少的制程步骤以及更短的制程时间。其阻抗测量精度可与网络分析仪的水平相媲美,而可选频率的调谐几乎可以瞬间实现(达到毫秒数量级),其速度较市场上的任何其它产品都快。从而实现真正卓越的精确性、可重复性和对制程的控制。


优点 特点
  • 凭借卓越的功率输送精度,实现前所未有的薄膜均匀度与传送效能(throughput)的最优化
  • 以更快的制程转换来支持新一代蚀刻与沉积制程
  • 帮助实现无缝的制程转换
  • 提高产量
  • 实现投资回报最大化<
  • 新一代测量系统能够在所有输出范围内(50欧姆和非50欧姆负载)对功率和阻抗进行极精确的测量
  • 近乎瞬间的频率调谐(可选)
  • 可选脉冲和同步脉冲的脉冲频率范围很宽广
  • 可选的 HALO(高精确度、低输出)及弧管理系统
  • 紧凑半机架型外观设计

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