Advanced Energy Copyright 2019 直流脉冲产品套件
直流
Photo of DC Pulsing Product Suite
  |  Contact Advanced Energy |  Email this to a friend |  Print this page |  

直流脉冲产品套件

AE 的脉冲产品系列具有各种功能,能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点,能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。


优势 特点
  • 功能广泛
  • 灵活的直流脉冲附件系列
  • 通过允许在更大功率下运行,提高吞吐量
  • 减少靶材污染
  • 提高 10-200kW 的功率
  • 提供 2-100kHz 的固定和可变频率
  • 出色的弧控制——在很多情况下,弧完全被消除。
  • 离子能量更高
  • 更大功率运行
  • 基材温度更低
  • 靶材温度更低
  • 工艺灵活性和宽容度
  • 系统整合容易
  • 双阴极功能(Astral® 产品)


 

Advanced Energy Copyright 2019