Advanced Energy Copyright 2019 LFGS RF Generators
低频/中频
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LFGS 射频发生器

LFGS 发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器。此类可变频率发生器采用了一种半桥、D 类型放大器理念,拥有一种空冷式紧凑型的设计,可安装在19英寸机架上面。典型的应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及表面处理。

优点 功能
  • 可达到目前市场上可获得的最低反射功率
  • 空冷式设计
  • 多功能前面板
  • 脉冲模式:0到 10kHz
  • 更完善的操作功能表
  • 2个模拟用户端口
  • RS-232 接口、以太网接口及 PROFIBUS 接口


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