Advanced Energy Copyright 2019 MDX 系列 1 kW 与 1.5 kW
直流
PMDX 系列 1 kW 和 1.5 kW 直流电源系统图片
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MDX 系列1 kW 和1.5 kW

精密的调节功能、优良的灭弧和较低的存储输出能量使 MDX 系列直流电源成为业界的领先产品。由于在真空环境下的经久耐用,这些适应于恶劣环境的电源经常被作为直流磁控管溅射传动而受到广泛应用。该产品系列还提供精密的调节性能,如射频溅射中的偏压电源和蚀刻系统。紧密的设计使之成为实验室系统首选解决方案。
优势 特点
  • 精密调节功能
  • 提高产率
  • 减少靶材烧入时间
  • 高可靠性
  • 简单维护和置换
  • 较低的存储输出能量
  • 输出涟波很低
  • 可调节抑弧时间
  • 高效率
  • 紧密的设计
  • 电压、电流和电源调节模式
  • 面板和类比界面控制
  • 各种保护功能

 

可下载文献

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