Advanced Energy Copyright 2019 PEII 系列
低频/中频
Photo of PEII Series low/mid-frequency power system
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PEII 低频系列

PEII 低频系列电源提供40 kHz 脉冲输出,具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率,该系列电源具有极宽的匹配阻抗,无输出变压器等外部组合硬件,特别适用于反应溅射。
优点 功能
  •  恒功率、电压或电流输出
  • 最高的灵活性与模块性
  • 强大的电弧控制
  • 自动制程保护装置
  • 极宽的祖抗匹配范围
  • 高功率密度
  •  5 kW 和 10 kW 选项(主/从 至多达到60 kW)
  • 内部负载匹配(10:1 阻抗范围)
  • 两种不同的弧处理电路
  • 高效能、紧凑型水冷式设计
  • 多种可选配件
  • 符合 CE 标准

 

可下载文献

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