Advanced Energy Copyright 2019 Litmas RPS -用于前极管道 PFC 治理
离子源技术
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Litmas® RPS 前极管道 PFC 治理

Litmas® RPS 系统是一种前极管道治理解决方案,可减少半导体制程的全球变暖影响。这个高性能的线性感应式等离子源完全整合了2 MHz 电源和匹配电路。其在 CVD、蚀刻和灰化应用中的阻抗使用范围很广。

优势 特点
  • 以很高的破坏效率,有效地治理对环境有害的 PFC 气体
  • 降低了总治理成本
  • 使前极管道的压力影响降至最低
  • 最大的功率效率和工艺灵活性
  • 在各种化学反应中始终如一的性能和可靠性
  • 无缝整合,无工艺影响

  • 线性感应式等离子源和高端供电系统
  • 紧凑的整合设计
  • 用水少、耗电小(无需燃料)
  • 高传导性、抗氟、圆柱形陶瓷腔室
  • 零 sub-fab 占地面积
 

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