Advanced Energy Copyright 2019 Pinnacle Plus+ Pulsed DC Power Supply
直流
Photo of Pinnacle Plus+ DC power system
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Pinnacle® Plus+

Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源,为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术,Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比,沉积率更高,重复性能更好,薄膜质量更为优异。

优势 特点
  • 更高的沉积率与产品率
  • 薄膜均匀性和品质一流 
  • 成弧造成的基材损坏减少 
  • 成本更低
  • 系统整合容易
  • 极佳的工艺灵活性和宽容度
  • 重复性能
  • 在过度曲线上运行稳定
  • 吞吐量更高
  • 便于监控
  • 无与伦比的系统灵活性
  • 一个紧凑型封装
  • 频率调节范围为 5-350kHz
  • 占空比高达45%
  • 电压范围宽——单输出宽阻抗范围 
  • 大功率运行
  • 基材温度低
  • 单输出(5kW 和 10kW 型号)
  • 用于双阴极生产的双输出(双路5kW 型号)
  • 绝佳的弧控制
  • 反应性溅射闭环控制

 

 

 


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