Advanced Energy Copyright 2019 Integro 射频发生器
RF
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Integro™ 射频发生器

经济型 Integro™ 射频发生器在很小的体积内结合了一个 13.56MHz、600W 的射频发生器和一个自动匹配网络。这节约了宝贵的空间并使得整合变得更容易。它支持的功能包括:脉冲模式、CEX 操作以及多种保护功能。


优点 功能
  • 能降低运行成本
  • 能简化整合
  • 能有效利用宝贵的空间
  • Low CoO
  • Easy integration
  • Efficient use of valuable space
  • 紧凑型盒式设计
  • 可被整合进匹配网络
  • 脉冲模式
  • CEX 操作模式
  • 多种保护功能
  • 模拟用户端口


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